
您的位置:首頁(yè) > 技術(shù)文獻(xiàn) > 技術(shù)交流 > 電子級(jí)雙氧水的顆粒管控淺議
雙氧水的作用
雙氧水根據(jù)濃度及應(yīng)用域不同可分為電子、食品、工業(yè)等。電子雙氧水是生產(chǎn)電子集成電路不可或缺的化學(xué)試劑,在半導(dǎo)體制程端硅片清洗和剝離蝕刻完成后的光刻膠。主要用于半導(dǎo)體硅晶片清洗劑,蝕刻劑和光刻膠去除劑,還可用于高絕緣層制取,電鍍液無(wú)機(jī)雜質(zhì)去除,電子行業(yè)中銅、銅合金和鎵、鍺的處理,以及太陽(yáng)能硅晶片的蝕刻和清洗。從行業(yè)產(chǎn)量來(lái)看,2021年我國(guó)高純電子雙氧水產(chǎn)量9.44萬(wàn)噸,同比增長(zhǎng)32.0%。
雙氧水的顆粒管控重要手段
電子雙氧水屬于濕電子化學(xué)品,技術(shù)壁壘較高。雙氧水的顆粒管控也顯得尤為重要。普洛帝測(cè)控門(mén)研發(fā)了針對(duì)雙氧水的顆粒管控設(shè)備PMT-2。在雙氧水生產(chǎn)企業(yè)已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用。
關(guān)鍵詞:粒子計(jì)數(shù)器
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