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* MFPP & M4PP:四點或多點奈米探針
微觀四點探針 M4PP ,比傳統(tǒng)的四點探針的間距小三個數(shù)量級,利用硅微加工技術(shù)加工而成。 CAPRES 可以提供間距為 5, 10, 15, 20, 25 和 30 微米的探針。
這種探針技術(shù)適用于材料微觀電性能的表征,是半導(dǎo)體和薄膜工業(yè)質(zhì)量控制的理想工具。它們也可被用于研究,例如對多晶材料中單晶;騿萎牭碾妼(dǎo)率進行成像。或者該技術(shù)可用于在超高真空 UHV 下,清潔硅片由于表面重構(gòu)造成的微觀電子輸送的改變。這項技術(shù)是 MIC 和日本東京大學(xué)物理系合作的部份結(jié)果。
CAPRES 現(xiàn)正致力于為客戶的特殊要求定制探針,可以制作間距小至 1.5 微米的探針。
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