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概要
CS-131是半導(dǎo)體制造中清洗工藝的SC-1溶液用于高精度藥液濃度的監(jiān)測(cè)儀,實(shí)現(xiàn)了過(guò)去所沒(méi)有的高速響應(yīng)性和小巧化。可以常時(shí)間的監(jiān)測(cè)微粒以及有機(jī)物的清除作業(yè)中所使用的SC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)各成分濃度。通過(guò)使用監(jiān)測(cè)輸出的回收控制,可以確保SC-1溶液的濃度在允許范圍內(nèi),同時(shí),還可以避免不必要的更換藥液工作。并且,冷卻器一體型也進(jìn)入了產(chǎn)品陣容內(nèi),可適用較大范圍的樣品溫度。
特點(diǎn)
監(jiān)測(cè)周期大約為2秒,支持300mm工藝的濃度管理
實(shí)現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測(cè)周期(※)的高速響應(yīng)。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時(shí)反饋濃度信息。(※不包含藥液的置換時(shí)間、冷卻時(shí)間)
小巧化設(shè)計(jì)有利于節(jié)省清洗裝置的空間
由于底面面積只有原來(lái)的2/3(※)左右,這種小巧化設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間?梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
(※和本公司產(chǎn)品CS-220系列進(jìn)行比較)
通過(guò)減少清洗工藝中的批次不良,提高產(chǎn)量
通過(guò)濃度計(jì)的信號(hào)輸出,進(jìn)行SC-1溶液的補(bǔ)給控制,從而實(shí)現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良,從而推進(jìn)產(chǎn)量的全面提高。
全自動(dòng)監(jiān)測(cè)與簡(jiǎn)易控制
用戶只需引入SC-1溶液即可。監(jiān)測(cè)是全自動(dòng)方式,因此開(kāi)始監(jiān)測(cè)后不需要進(jìn)行任何控制。另外,由于參照光譜測(cè)量時(shí)使用的是空氣,所以不需要用水。
通過(guò)采取全面的氣泡對(duì)策,可監(jiān)測(cè)高溫樣品
在脫泡槽中分離氣泡,在監(jiān)測(cè)過(guò)程中進(jìn)一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測(cè)單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在最低限度。并且,如果是冷卻器一體型產(chǎn)品,則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計(jì)。溫度補(bǔ)償將自動(dòng)進(jìn)行。
采用DC24V,實(shí)現(xiàn)高安全性
電源采用DC24V低壓電,提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且,由于內(nèi)置漏水傳感器,在發(fā)生漏水時(shí)可以切斷SC-1溶液的供應(yīng)等,采取緊急措施。
SC-1濃度計(jì)
CS-131
技術(shù)規(guī)格
型號(hào)和規(guī)格 | CS-131:無(wú)冷卻器 |
監(jiān)測(cè)對(duì)象 | SC-1(氨/過(guò)氧化氫水溶液) |
測(cè)量原理 | 吸收光譜測(cè)定法 |
濃度計(jì)算的原理 | 溫度補(bǔ)償型多變量解析法 |
監(jiān)測(cè)范圍 | 氨:0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00% |
再現(xiàn)性 | 氨: ±0.15% / ±0.2% / ±0.25% |
藥液條件 溫度 | CS-131:20〜30℃ |
藥液條件 流量 | CS-131:20〜60mL/min |
藥液條件 壓力 | 0.10〜0.20MPa |
監(jiān)測(cè)周期 | 最小約2秒(不包含藥液的置換時(shí)間・冷卻時(shí)間) |
設(shè)置溫度 | 20〜25℃ |
操作面板 | 1)溫度檢測(cè)值的顯示:氨、過(guò)氧化氫、水 |
串行輸入 | RS-232C |
并行輸入 | DC12〜30V(光電耦合器絕緣) |
并行輸出 | 開(kāi)路集電極輸出為ON 時(shí)的最大電流:5mA、為OFF時(shí)的最大電壓:30V |
模擬輸出 | 4〜20mA(2輸出:NH3濃度、H2O2濃度的2輸出) |
電源 | DC24V±10%, 2A |
外形尺寸 | CS-131:205(W)×329(D)×269(H)mm |
質(zhì)量 | CS-131:約11kg |
連接配管尺寸 | 導(dǎo)入用、排出用外徑均為3mm(內(nèi)徑均為2mm) |
配管接頭 | Nippon Pillar Super型 |
上海首立實(shí)業(yè)有限公司成立于2002年,是美國(guó)SOLY在中國(guó)投資的集科、工、貿(mào)于一體的綜合性實(shí)業(yè)公司。
目前在國(guó)內(nèi)的主要有實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備和生產(chǎn)工業(yè)用試劑兩大方面的業(yè)務(wù)。
其一:實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備和實(shí)驗(yàn)室工程方面,本公司是NIPPON DENSHOKU,HENKEL,SHEEN,DJH DESIGNS,TIMES,JICC,TPS,BLUE M,TABER,ERICHSEN等知名品牌的授權(quán)經(jīng)銷商和售后服務(wù)承包商。主營(yíng)NIPPONDENSHOKU色差儀、色度儀、色差計(jì)、濁度儀、水分儀、分光測(cè)色儀、光澤計(jì)、密度計(jì);儀立信Erichsen杯凸設(shè)備、島津EDX720 X熒光光譜儀、HORIBA XGT-1000WR,TPS,Blue-M高溫烘箱、TSA101(102,103)自動(dòng)彈出式烘箱、紫外老化箱、光澤計(jì)、DJH膜厚儀、DJH MEK摩擦實(shí)驗(yàn)儀以及其它鹽霧、磨耗、氙燈曝曬老化、紅魔鬼振蕩混合器、HENKEL鋁合金表面鈍化劑、皮膜劑,Taber磨耗儀等等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備耗材及實(shí)驗(yàn)室工程;我司為涂料實(shí)驗(yàn)室、RoHS實(shí)驗(yàn)室、彩鋼實(shí)驗(yàn)室及通用實(shí)驗(yàn)室提供一攬子解決方案。
其二:生產(chǎn)加工,首立實(shí)業(yè)保稅區(qū)工廠主要生產(chǎn)出口工業(yè)電子油、金屬表面保護(hù)劑、微動(dòng)開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)保護(hù)脂和防銹劑等工業(yè)試劑和耗材。注冊(cè)商標(biāo)牌號(hào):Cu606銅表面防變色保護(hù)劑,GR601觸點(diǎn)保護(hù)脂,AU602金表面防變色保護(hù)劑,AG603銀表面防變色保護(hù)劑,SN604錫表面防變色保護(hù)劑,NI605鎳表面防變色保護(hù)劑,F(xiàn)E607防銹油,F(xiàn)608高效防銹脂,RoHSColor六價(jià)鉻顯色劑。
董事長(zhǎng)語(yǔ)錄:“品質(zhì)引領(lǐng)未來(lái)。”
經(jīng)營(yíng)理念:“以實(shí)力求生存、以改革求發(fā)展。”
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員工守則:“專業(yè)、專注、誠(chéng)信、高效”
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公司自成立以來(lái),憑借正確的經(jīng)營(yíng)理念,加之科學(xué)的管理方法,同美國(guó)、加拿大、德國(guó)、韓國(guó)、瑞典、瑞士、日本、中國(guó)香港及中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)等眾多企業(yè)和社會(huì)團(tuán)體建立了穩(wěn)定長(zhǎng)久的業(yè)務(wù)合作關(guān)系并樹(shù)立了良好的信用度和企業(yè)美譽(yù)度。
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