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產(chǎn)品展示

昆山蘇州無錫南通上海北京西安合肥南昌南京南通濟(jì)南青島東營嘉興桐鄉(xiāng)湖州武漢成都重慶Transpector 2殘余氣體分析儀

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昆山蘇州無錫南通上海北京西安合肥南昌南京南通濟(jì)南青島東營嘉興桐鄉(xiāng)湖州武漢成都重慶Transpector 2殘余氣體分析儀

更新日期:2015/1/31 21:45:35

所 在 地:歐洲

產(chǎn)品型號:Transpector 2殘余氣體分析儀

簡單介紹:inficon Transpector 2殘余氣體分析儀,超高靈敏度和性能優(yōu)于的新一代殘余氣體分析儀,高靈敏性改善污染控制。

優(yōu)質(zhì)供應(yīng)

詳細(xì)內(nèi)容

 Transpector 2殘余氣體分析儀Transpector® 氣體分析系統(tǒng)是一種 RGA,可在半導(dǎo)體制造業(yè)中,為真空過程監(jiān)控、過程診斷和泄漏檢測提供精確而可靠的數(shù)據(jù)。 與之相比,Transpector 2殘余氣體分析儀Transpector 2 提高了氫氣靈敏度,使下限達(dá) ppm 量級的污染均可一覽無余,低電平信號下的掃描速度快達(dá)四倍,動(dòng)態(tài)掃描范圍更為寬泛,可在更低的可檢分壓強(qiáng)下提供更純凈的數(shù)據(jù)。

Transpector 2殘余氣體分析儀功能

  • 100-amu、200-amu 和 300-amu 系統(tǒng)配備有法拉第杯或組合式電子倍增器/法拉第杯
  • 提高氫氣檢測水平
  • 優(yōu)異的峰值振幅和位置穩(wěn)定性
  • 與原始 Transpector 相比,信噪比高達(dá) 10 倍
  • 低電平信號下掃描速度更快
  • 九個(gè)數(shù)量級的電子動(dòng)態(tài)量程
  • 針對單腔室系統(tǒng)和多腔室系統(tǒng)的軟件選項(xiàng)
  • 從 1 X 10 -4 Torr 到 5 X 10 -15 Torr 范圍內(nèi)的分壓力測量

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