產(chǎn)品展示
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細(xì)內(nèi)容
提供兩種探頭配置: 標(biāo)準(zhǔn)型和緊湊型。標(biāo)準(zhǔn)型用于從真空室的側(cè)面或底部安裝，冷卻管與晶片是平行的。緊湊型用于從真空系統(tǒng)的頂部安裝，冷卻管與晶片是垂直的�？蛇x購探頭帶有氣動晶體擋板，用于在源加熱升溫的過程中，交替材料沉積或未使用晶體時，或為延長晶體壽命使用 RateWatcher™ 時保護(hù)晶體。為便于更換晶體，擋板采用下拉式結(jié)構(gòu)。為有效地消除 RF 干擾的問題，暴露的晶體電極是妥善接地的。
前載式單探頭法蘭
INFICON 提供兩種法蘭的可選型號: 1" 螺絲法蘭或 2 ¾" (CF40) ConFlat®法蘭�？砂从脩粢筇峁� KF40 法蘭。
前載式單探頭法蘭連接
前載式單探頭可訂購帶法蘭的組合型。探頭 / 法蘭連接可采用焊接或直口接頭。直口接頭易調(diào)整，無釬焊或焊接的要求。法蘭可沿管長移動，對于 "E" 長度探頭，真空系統(tǒng)內(nèi)的長度可在 20.3 厘米至 71.1 厘米 (8"- 28") 的范圍內(nèi)調(diào)整，對于 "G" 長度探頭，可在 20.3 厘米至 121.9 厘米 (8"- 48") 的范圍內(nèi)調(diào)整. 一旦確定所需的長度, 直口接頭可用手指擰緊的管密封件。 或者，可選焊接連接. 如需焊接連接, 必須在訂購前填寫 INFICON 提供的一個探頭長度規(guī)格表。
優(yōu) 點
■ 前載式晶體支架
■ 易安裝
■ 可提供:
- 2.54 厘米 (1 " ) 螺紋法蘭
- CF40 法蘭
■ 如訂購直口接頭的, 可調(diào)節(jié)長度
■ 可按客戶要求提供特定長度焊接 的探頭 / 法蘭組合.
■ 如訂購直口接頭的,，無需釬焊或焊接法蘭。
