美國BROOKS布魯克斯公司熱式質(zhì)量流量計是為了滿足有關(guān)工藝過程中對測量精度、重復(fù)性和控制方面的要求而設(shè)計的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同，BROOKS質(zhì)量流量計通過被測氣體的比熱來測量流量，不受溫度、壓力變化的影響。因此該產(chǎn)品在各種不同的工作環(huán)境下均有較高的精度。被測流量可設(shè)計成質(zhì)量或體積單位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT質(zhì)量流量計產(chǎn)品都能同現(xiàn)有的工業(yè)儀表兼容，安裝簡便。

技術(shù)參數(shù):
數(shù)字信號/模擬信號輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器
介質(zhì):可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體
流量范圍:0.03-30slpm
工作壓力: 1500psi（10.432Mpa）
氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG
電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge
精度:±1%FS
信號輸出:RS-232/RS-485接口,4-20mA輸出控制,TTL報警
內(nèi)置微處理器，智能化、數(shù)字化。軟件組態(tài)，數(shù)字通訊，支持微軟Windows動態(tài)數(shù)據(jù)交換。
流量范圍：0-30L/MIN；
精度：1%FS；
壓力：1500psi；
溫度：65℃；
輸入/輸出：0-5V；
電源：+/-15V