NanoFirst-4000型STM納米刻蝕系統(tǒng)是一種利用普通STM鉑銥探針在接近被作用樣品1nm以下時(shí)進(jìn)行瞬間高壓電脈沖刻蝕的成像控制系統(tǒng)，同時(shí)兼?zhèn)銷anoFirst-1000掃描隧道顯微鏡的所有功能。它能對(duì)介質(zhì)表面直接進(jìn)行微米至納米級(jí)的加工，蝕刻范圍從一百微米到零點(diǎn)幾納米。蝕刻路徑以失量方式任意編輯。系統(tǒng)能智能識(shí)別失量軌跡，并自動(dòng)選擇相應(yīng)算法和刻蝕方式。刻蝕完成后可對(duì)刻蝕結(jié)果直接觀測，測量區(qū)域深度、坡度、粗糙度等多種物理量。