X熒光光譜儀是種波長較短的電磁輻射，通常是指能t范圍在0.1^-100keV的光子。X射線光譜儀與物質(zhì)的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。X射線熒光光譜儀是由物質(zhì)中的組成元素產(chǎn)生的特征輻射，通過側(cè)里和分析樣品產(chǎn)生的x射線熒光，即可獲知樣品中的元家組成，得到物質(zhì)成分的定性和定量信息。
X熒光光譜儀優(yōu)點
a) 分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的部待測元素。
b) X射線熒光光譜跟樣品的化學結(jié)合狀態(tài)無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關系。(氣體密封在容器內(nèi)也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。
c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同試樣可反復多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
d) X射線熒光分析是種物理分析方法，所以對在化學性質(zhì)上屬同族的元素也能進行分析。
e) 分析精密度高。
f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

ROHS檢測儀就是X射線熒光光譜儀，其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理。X射線熒光光譜儀通�？煞譃閮纱箢悾ㄩL色散X射線熒光光譜儀(WDXRF)和能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)，波長色散光譜儀主要部件包括激發(fā)源、分光晶體和測角儀、探測器等，而能量色散光譜儀則只需激發(fā)源和探測器和相關電子與控制部件，相對簡單。