IKO精密升降臺(tái)TZ是利用楔型機(jī)構(gòu)進(jìn)行上下方向精密定位的升降型精密定位工作臺(tái)。楔型機(jī)

構(gòu)是充分利用在各種產(chǎn)業(yè)機(jī)械中業(yè)績(jī)出色的IKO直線導(dǎo)軌技術(shù)，在緊湊的小型機(jī)構(gòu)上實(shí)現(xiàn)了

高精度和剛性。適合使用于需要高精度的半導(dǎo)體、液晶制造裝置和光學(xué)方面的裝置。

1：緊湊的精密升降工作臺(tái)，采用自創(chuàng)的楔形結(jié)構(gòu)，小巧緊湊，可實(shí)現(xiàn)高精度上下方向定位

的升降工作臺(tái)。

2：可根據(jù)用途選擇的2種類型，2種尺寸，裝有圓柱滾子直線導(dǎo)軌設(shè)備的高精度，高剛性型

與性價(jià)比優(yōu)異的

標(biāo)準(zhǔn)型， 這兩種類型分別備有120mm和200mm的工作臺(tái)尺寸。備有2種楔形減速比，可實(shí)現(xiàn)

大行程24mm的上下方向定位。

3：通過(guò)安裝線性編碼器，可實(shí)現(xiàn)更高的定位，可作為選項(xiàng)指定帶線性編碼器，進(jìn)行全閉環(huán)

控制，由此可實(shí)現(xiàn)更高精度的定位。

4：標(biāo)配傳感器，標(biāo)配限位傳感器，原點(diǎn)/原點(diǎn)傳感器，傳感器緊湊地內(nèi)置于主體內(nèi)部，方便

組裝到機(jī)械，裝置中。

5：可作為多軸構(gòu)成的Z軸使用，可設(shè)置在精密點(diǎn)位工作臺(tái)的滑臺(tái)上，作為多軸工作臺(tái)的Z軸

定位結(jié)構(gòu)使用。

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產(chǎn)品介紹：

高精度・高剛性楔形機(jī)構(gòu)的導(dǎo)向部并列配置2根圓柱滾子式C-Lube自潤(rùn)滑圓柱滾子直線導(dǎo)軌

超X，實(shí)現(xiàn)了高精度定位和更高

檔的剛性。高定位精度由光學(xué)性線性編碼器進(jìn)行全閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)了更高的定位精度。免維

護(hù)直線導(dǎo)向裝置和滾珠絲杠都內(nèi)置

潤(rùn)滑零件C-Lube，實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)時(shí)間免維護(hù)。2種減速比，產(chǎn)品系列化楔形減速比有1:2和1:4

兩種，產(chǎn)品系列化，用戶可根據(jù)用途選

擇行程長(zhǎng)度和分解能。且可以實(shí)現(xiàn)上下方向大行程24mm的精確定位。標(biāo)準(zhǔn)裝備傳感器標(biāo)準(zhǔn)裝

備限位傳感器、原點(diǎn)和原點(diǎn)傳感器。傳感器內(nèi)置于主體內(nèi)部，便于安裝到機(jī)械和設(shè)備上。