產(chǎn)品展示
硅片表面有機(jī)污染物分析裝置
點(diǎn)擊次數(shù)：348發(fā)布時(shí)間：2010/9/12 20:55:10
更新日期：2010/9/12 20:55:10
所 在 地：
產(chǎn)品型號(hào)：SWA-256M/256
相關(guān)標(biāo)簽：
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細(xì)內(nèi)容
● 可對完整的硅片測量（直徑30cm）。
● 使用毛細(xì)管柱分析，可以此性測量多種有機(jī)化合物。
● 可檢測pg/cm2（硅片表面）的微量有機(jī)化合物。
● 符合國家標(biāo)準(zhǔn)GBT 24577-2009 熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機(jī)污染物
●符合標(biāo)準(zhǔn)SEMI MF1982-99，SEMI MF1982-1103
